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Edwards二手分子泵的维修注意事项是？ 感谢回答

Edwards二手分子泵的维修注意事项是？ 感谢回答
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  • Edwards二手分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
  • 当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards二手分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
  • Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
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