帮个忙，Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？

德国Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200单级旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是废气收集真空泵选择之一。 全文

Edwards进口分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不.. 全文

检查真空表是不是出现了问题，Edwards真空分子泵维修出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分.. 全文

磁悬浮分子泵作为高精度真空设备的部件，其可靠运行依赖于科学规范的维护保养。磁悬浮分子泵的维护在于预防为主、精细监控、规范操作、介入。通过严格执行清洁、冷却、振动监测、参数记录等日常预防性工作，结合定期.. 全文