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麻烦请教各位！有什么方法维修Edwards真空分子泵？

麻烦请教各位！有什么方法维修Edwards真空分子泵？
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  • Edwards真空分子泵轴承为什么会烧毁 原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
  • 胶圈口Edwards真空分子泵要用多少卡钳，使用才安全？ 不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等
  • 真空度很好的情况下，Edwards真空分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
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