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爱德华分子泵控制器维修要注意什么内容？求解答

爱德华分子泵控制器维修要注意什么内容？求解答
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  • 当爱德华分子泵控制器出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。
  • 当爱德华分子泵控制器M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
  • 当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开爱德华分子泵控制器之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
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