麻烦请教各位！维修爱德华分子泵维修要注意哪些细节？

Pfeiffer隔膜泵膜片已po裂时需对气阀和泵腔清洗，腐蚀性介质，则需要做相应的防护措施，并用清水冲洗。 全文

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards进口分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。 全文

涡轮分子泵拆解操作指南一、安全准备1. 切断电源并静置24小时以上，确保泵体完全泄压2. 佩戴防静电手环、护目镜及防尘口罩3. 准备工具：陶瓷扳手、无尘布、高真空润滑脂、氮气吹扫装置二、拆解流程（1）.. 全文

胶圈口Edwards真空分子泵要用多少卡钳，使用才安全？ 不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等 全文