Edwards真空分子泵发生故障怎么办？拜托了帮个忙

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards进口分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。 全文

正常使用下，为什么Edwards二手分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统 全文

机械轴承分子泵的保养周期需根据使用强度、工况环境及厂家技术规范综合确定，通常建议每6至12个月进行一次基础维护，每1至3年开展深度保养。以下为具体保养策略：1. 基础维护（6-12个月）- 润滑系统检.. 全文

检查真空表是不是出现了问题，Edwards真空分子泵维修出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分.. 全文