哪位大神能告诉我？真空泵故障维修的解决方法

Leybold分子泵应用范围：食品包装、金属工业、石化工业、真空热处理、真空吸塑、药科技、电子科技、半导体工业、真空电镀等行业 全文

爱德华分子泵控制器在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解.. 全文

分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。 全文

<div style="text-align:center;margin:5px 0;"><img src="https://upimg300.dns4.cn/pic/257062/p12/20240.. 全文