谁能回答！维修爱德华分子泵维修要注意哪些细节？

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真空度很好的情况下，爱德华分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文

当Edwards真空分子泵维修出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。 全文