Edwards真空泵的工作原理是什么？教期待大神解答

Edwards进口分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶.. 全文

检查真空表是不是出现了问题，爱德华分子泵控制器出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指.. 全文

当真空泵重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作 全文

进口分子泵噪音异常增大的常见原因及维修方法如下： 一、故障排查步骤 1. 安装检查 - 确认泵体与真空腔体连接稳固，检查法兰密封圈是否老化 - 使.. 全文