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求帮助！Edwards二手分子泵维修有哪些是需要注意的？

求帮助！Edwards二手分子泵维修有哪些是需要注意的？
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  • Edwards二手分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
  • Edwards二手分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
  • Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
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