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怎么维修Leybold分子泵？教期待大神解答

怎么维修Leybold分子泵？教期待大神解答
http://www.tz1288.com/ask/7679510.html
  • Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200单级旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是废气收集真空泵选择之一。
  • Leybold分子泵涵盖各应用领域如：工业应用、PET挤出机脱气、电池烤箱、吸塑机械、包装机械、实验室、半导体、线路板、光伏太阳能、平板显示等；
  • Leybold分子泵设计简单，体积轻巧，单段油回旋旋片式真空泵；莱宝单级旋片真空泵，高真空度极限压力0.08mbar，功率4kw
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