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有谁知道：爱德华分子泵控制器要怎么维修？ 帮忙解答一下

有谁知道：爱德华分子泵控制器要怎么维修？ 帮忙解答一下
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  • 爱德华分子泵控制器中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
  • 爱德华分子泵控制器使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？ 原因：冷却不良，负载太大 解决方法：检查冷却系统，检查真空系统
  • 真空度很好的情况下，爱德华分子泵控制器油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
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