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Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？在线等

Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？在线等
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  • Edwards真空分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
  • 当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards真空分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
  • 打开Edwards真空分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
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