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高纯甲烷:甲烷纯度99.999%,氧(氩)含量1ppm,氮含量5ppm,其他总碳含量1ppm,水分含量1ppm。 纯甲烷:符合标准HG/T 3633-1999,甲烷纯度99.99%,,氧(氩)含量10.. 全文
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在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气.. 全文
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高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;与四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;在冶金工业中有广泛应用。超高纯氦气 全文
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