Edwards真空分子泵维修的特点有哪些？教期待大神解答

<div style="text-align:center;margin:5px 0;"><img src="https://upimg300.dns4.cn/pic/257062/p2/202308.. 全文

异物进入Pfeiffer涡轮分子泵工艺环境粉尘较多或有异物进入Pfeiffer涡轮分子泵时，会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害，建议立即停机送修检测。 全文

封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供.. 全文

正常使用下，为什么Edwards真空分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统 全文