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帮个忙，爱德华分子泵控制器如何维修？ 十万火急！

帮个忙，爱德华分子泵控制器如何维修？ 十万火急！
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  • 正常使用下，为什么爱德华分子泵控制器油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统
  • 爱德华分子泵控制器中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
  • 真空度很好的情况下，爱德华分子泵控制器油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
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