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高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。超高纯氦气 全文
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氦气无毒，第二氦气不会燃烧，比氢气安全，现在经常会有一些关于氢气爆的报道，虽然氦气成本会高一些，但是安全更重要。 全文
