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网友们请赐教！Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？

网友们请赐教！Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？
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  • 当Edwards真空分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
  • Edwards真空分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
  • Edwards真空分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。
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