爱德华Edwards旋片式真空泵坏了要怎么修？ 帮忙解答一下

封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供.. 全文

Edwards真空分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏 全文

岛津真空泵漏油，喷油。浮子阀卡死或堵塞或排气过滤器脱落或堵塞，把坏的配件换了就行了。 全文

轴流分子泵维修注意事项轴流分子泵是真空系统设备，维修需遵循严格规范以确保性能与安全性。以下为维修关键注意事项：1. 安全操作前置条件 - 维修前必须断电并泄压，避免残余气体或高速旋转部件引发事.. 全文