爱德华分子泵控制器维修要注意什么内容？在线等

Edwards二手分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不.. 全文

Edwards二手分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶.. 全文

排除方法：1.低于150摄氏度长时间烘烤去气2.冷却水温应低于14摄氏度，运转中保证冷却系统正常工作 全文

爱德华分子泵维修的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏 全文