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分子泵选型需要注意哪些事项？

分子泵选型需要注意哪些事项？
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  • 分子泵的使用——总体安装注意1）安装前应检查分子泵运输中是否被损坏2）打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象3）安装环境应符合技术要求和真空卫生要求4）确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网5)确认已安装润滑油
  • -满足系统的本底压强（极限）的要求系统的极限压强除与分子泵的极限压强有关外，与排气时间、腔室材料、法兰连接形式、清洁程度、是否烘烤诸多因素有关。同一型号的分子泵在极限指标方面有微小差异，差异一般不会高于办个量级。
  • -满足系统的抽气要求，工作节拍在对系统的气载、工作节拍有较清楚计算的基础上，考虑配泵的大小，数量。同时还要考虑到前级泵的大小，以及分子泵在高压强段有效抽速降低等因素对于大的工作腔室，要考虑配罗茨泵机组，使得系统尽快地渡过高压强工作段
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