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问一下：爱德华分子泵维修维修有哪些是需要注意的？

问一下：爱德华分子泵维修维修有哪些是需要注意的？
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  • 爱德华分子泵维修每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。
  • 当爱德华分子泵维修未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
  • 爱德华分子泵维修不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
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