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Edwards真空分子泵维修的维修注意事项有哪些？ 急需赐教

Edwards真空分子泵维修的维修注意事项有哪些？ 急需赐教
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  • 当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards真空分子泵维修之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
  • Edwards真空分子泵维修不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
  • Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
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