哪位知道有什么方法维修爱德华分子泵？

Edwards真空分子泵低振动：磁悬浮意味着无摩擦，因此振动很低，此外这种特性能够保持不变，并且不会随零件磨损而化。 全文

对正常运转的泵，一般只用一台，因为一台大泵与并联工作的两台小泵相当，（指扬程、流量相同），大泵xiao率高于小泵，故从节能角度讲宁可选一台大泵，而不用两台小泵 全文

爱德华分子泵有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？ 原因：防护网裂开，前级管道裂开 解决方法：优化系统设计 全文

Edwards真空分子泵维修特点优势： 先进的油压回路可提供有效的润滑（即使是在高气体负荷下） 当泵关闭时，弹簧式分配阀可提供油和空气反吸保护 气镇控制可帮助处理高水蒸汽负荷 传动轴杆上安装有工业级滚.. 全文