真空泵故障应该怎么维修？有懂行的吗？

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弹簧变形或断裂，使旋片受力不均匀而发出冲击声。解决方案：更换弹簧 全文

爱德华分子泵维修使用高压强耐冲击分子泵同时配合控制电源使用，大大增强了仪器的可靠性，特别是当遇到炉管密封系统与在使用过程中的大气相通，导致系统会自动停止工作时，只需等待炉管密封系统恢复正常就可继续正常.. 全文

真空度很好的情况下，Edwards真空分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文