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有什么方法维修爱德华分子泵控制器？大侠们，求解

有什么方法维修爱德华分子泵控制器？大侠们，求解
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  • 爱德华分子泵控制器轴承为什么会烧毁 原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
  • 真空度很好的情况下，爱德华分子泵控制器油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
  • 爱德华分子泵控制器有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？ 原因：防护网裂开，前级管道裂开 解决方法：优化系统设计
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