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高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。高纯氨气 全文
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乙炔，分子式C2H2，俗称风煤，是炔烃化合物中体积小的一员，主要作工业用途，特别是烧焊金属方面。乙炔在室温下是一种无色、的气体。纯乙炔是无臭的，但工业用乙炔由于含等杂质，而有一股大蒜的气味。 全文
