求帮助！Edwards进口分子泵要怎么维修？

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LEYBOLD在世界上四个国家设有工厂，每家工厂各自生产不同系列的真空元部件。其中有位于：德国的科隆，公司总部所在地，几乎生产所有系列的产品，包括Leybold分子泵 全文

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards真空分子泵维修之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。 全文

莱宝分子泵设计简单，体积轻巧，单段油回旋旋片式真空泵；莱宝单级旋片真空泵，高真空度极限压力0.08mbar，功率4kw 全文