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爱德华分子泵控制器的故障怎么解决？大侠们，求解

爱德华分子泵控制器的故障怎么解决？大侠们，求解
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  • 爱德华分子泵控制器在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解决方法：检查系统
  • 爱德华分子泵控制器中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
  • 真空度很好的情况下，爱德华分子泵控制器油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
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