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有谁知道：阿尔卡特ALCATEL涡轮分子泵的注意事项吗？

有谁知道：阿尔卡特ALCATEL涡轮分子泵的注意事项吗？
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  • 阿尔卡特ALCATEL涡轮分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。
  • 阿尔卡特ALCATEL涡轮分子泵不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。
  • 阿尔卡特ALCATEL涡轮分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。它的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。
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