求帮助！Edwards真空分子泵的维修方法有哪些？

打开Edwards真空分子泵维修之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。 全文

爱德华分子泵控制器的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏 全文

随着现在越来越多好的设备可以被普及使用，在使用爱德华分子泵维修以后可以突出的特点也是丰富了很多。现在提到了分子泵机组的使用也是很常见，这款设备主要是有着不错的抽速和压缩比，并且也是可以增加出口压力，让.. 全文

爱德华分子泵控制器在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解.. 全文