真空泵出现故障要怎么处理？谁能帮忙回答一下

**分子泵维修指南：关键步骤与注意事项**分子泵作为高真空系统的设备，广泛应用于半导体、科研、镀膜等领域。其工作原理依赖高速旋转的涡轮叶片（转速可达数万转/分钟），通过动量传递将气体分子排出。维修分子.. 全文

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真空度很好的情况下，爱德华分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文