敢问大家，Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？

pfeiffer真空分子泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。 全文

爱德华分子泵控制器有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？ 原因：防护网裂开，前级管道裂开 解决方法：优化系统设计 全文

Agilent进口分子泵喷油，说明进气口外有大量的漏点，甚至是进气口*露大气。解决之道：封住泵的进气口使泵运转，如果不喷油的话，说明有漏点；排气阀片损坏，检查排气阀片是否损坏，更换坏的排气阀。 全文

Edwards二手分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不.. 全文