无油隔膜真空泵的工作原理是什么？知道的帮忙回答一下

Shimadzu分子泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。 全文

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正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形？原因：过热，负载大。解决措施：检查冷却系，检查系统。 全文