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分子泵故障维修方法有哪些？知道的请回答

分子泵故障维修方法有哪些？知道的请回答
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  • 分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
  • 为了解决漏油问题，在真空泵的维护过程中，需要更换老化的油窗、轴封、垫片和填充泵油的毡垫。真空泵检修后，加注前用真空泵油清洗真空泵，并用溶剂清洗加注口滤网，保持油箱清洁。
  • 分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。
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