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维修Edwards二手分子泵要注意哪些细节？ 有懂行的吗？

维修Edwards二手分子泵要注意哪些细节？ 有懂行的吗？
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  • 当Edwards二手分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
  • 当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards二手分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
  • Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
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