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标样采用称量法配制，并用静态体积法比对，其误差来源与天平的准确度、砝码的级差、砝码和钢瓶的浮力以及稀释气的纯度有关，标样采用三次稀释法配制，并且根据稀释气的纯度进行了修正，经过计算，标样的制备误差不大.. 全文
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在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气.. 全文
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