真空泵的常见故障及维修方法有哪些？感谢回答

封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供.. 全文

Edwards进口分子泵低振动：磁悬浮意味着无摩擦，因此振动很低，此外这种特性能够保持不变，并且不会随零件磨损而化。 全文

正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形？ 原因：过热，负载大。 解决措施：检查冷却系，检查系统。 全文

<div style="text-align:center;margin:5px 0;"><img src="https://upimg300.dns4.cn/pic/257062/p15/20200.. 全文