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问一下：分子泵常见的故障有哪些？应该怎么处理？

问一下：分子泵常见的故障有哪些？应该怎么处理？
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  • 分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？原因：附近有光照或其他热源解决方法：避免光照或热源
  • 正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形原因：过热，负载大解决措施：检查冷却系，检查系统
  • 分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？原因：冷却不良，负载太大解决方法：检查冷却系统，检查真空系统
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