AlGaN材料XRD检测的原理？大侠们，求解

AlGaN材料XRD检测典型应用可以分为如图1所示的六大类：（1）晶体结构的确定和修正；（2）点阵常数的测定；（3）物相定量分析；（4）获得键长键角信息；（5）应力应变分析；（6）其他。
AlGaN材料XRD检测主要用于物相分析，另外结晶度，全谱拟合，晶粒大小，晶胞参数，应力应变等也可以用它来分析。
AlGaN材料XRD检测常规扫描可以知道晶体的物相，用高温附件可知道在温度变化情况下的物相变化。小角衍射可知道粘土等层状材料的层间距，掠入射模式可测得纳米薄膜材料厚度，还有些特殊工具可测晶体的残余应力、织构信息等。通过对XRD结果分析，还可以测得晶体掺杂情况、物相占比情况等等。

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