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请问：爱德华分子泵维修维修有哪些是需要注意的？ 感谢回答

请问：爱德华分子泵维修维修有哪些是需要注意的？ 感谢回答
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  • 当爱德华分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
  • 当爱德华分子泵维修未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
  • 爱德华分子泵维修不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
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