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谁能回答！Edwards真空分子泵的维修注意事项是？

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Edwards真空分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵
当Edwards真空分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
Edwards真空分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。

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