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各位大佬谁清楚,Edwards真空分子泵的维修注意事项是？

各位大佬谁清楚,Edwards真空分子泵的维修注意事项是？
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  • Edwards真空分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。
  • 打开Edwards真空分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
  • Edwards真空分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
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