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问一下：pvd真空镀膜原理是什么？ 急需赐教

问一下：pvd真空镀膜原理是什么？ 急需赐教
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  • pvd真空镀膜其原理是在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质电离，在电场的作用下，使被蒸发物质或其反应产物沉积在工件上。
  • pvd真空镀膜是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的环保型表面处理方法，它能够制备各种单一金属膜(如铝、钛、锆、铬等)、氮化物膜(TiN[钛金]、ZrN〔锆金〕、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN)，以及氧化物膜(如TiO等)。
  • pvd真空镀膜就是在表面涂渡一层或多层金属膜或金属化合物，以改变光学性能。
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