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Pfeiffer涡轮分子泵故障维修的方法？感谢回答

Pfeiffer涡轮分子泵故障维修的方法？感谢回答
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  • 分子泵无法达到全速，真空度抽不下去请检查前级真空是否正常，如果是分子泵组，请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下，无法解决问题建议立即送修检测。
  • 油棉污染油棉变黑，发黄，建议3-4年更换分子泵油棉，Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式，可以给轴承降温，减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承，避免污染物附着在轴承上面，有效延长分子泵的使用寿命。
  • 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列，采用复合轴承设计，内部主要由陶瓷球轴承，转子轴，安全轴承和磁性轴承组成，正常运行3-4年建议做一次标准保养
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