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请问谁知道：Edwards真空分子泵的维修方法有哪些？

请问谁知道：Edwards真空分子泵的维修方法有哪些？
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  • Edwards真空分子泵轴承为什么会烧毁 原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
  • Edwards真空分子泵有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？ 原因：防护网裂开，前级管道裂开 解决方法：优化系统设计
  • Edwards真空分子泵的变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？ ①电压不稳②强干扰③高压打火
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