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维修Edwards进口分子泵要注意什么？大家可以说一下吗？

维修Edwards进口分子泵要注意什么？大家可以说一下吗？
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  • Edwards进口分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
  • 打开Edwards进口分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
  • 检查真空表是不是出现了问题，Edwards进口分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。
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