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Edwards真空分子泵的维修方法有哪些？有人知道吗？

Edwards真空分子泵的维修方法有哪些？有人知道吗？
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  • Edwards真空分子泵有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？ 原因：防护网裂开，前级管道裂开 解决方法：优化系统设计
  • Edwards真空分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解决方法：检查系统
  • Edwards真空分子泵的变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？ ①电压不稳②强干扰③高压打火
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