德国Leybold分子泵如何养护？ 知道的请回答

仪器构造实用 一机两用：Edwards真空分子泵控制系统除了作为真空控制系统使用外，还可以用作活动平台，用于放置电炉及其它设备，十分方便。 全文

集成分子泵维修时的注意事项主要包括以下几点：1.安全措施要到位。在进行任何维修保养操作前，务必切断分子泵的电源并等待其冷却至室温；在拆卸或检查部件时避免直接接触高温、高压区域及尖锐物体等潜在危险源以防.. 全文

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards进口分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。 全文

爱德华分子泵的变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？ ①电压不稳②强干扰③高压打火 全文