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高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。高纯氙气
纯度是高纯氙气的一个重要技术参数，按氮气的纯度分为工业用氮气、纯氮和高纯氮三级，它们的纯度分别为99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。纯氮N2≥99.99化工、治金、电子工业高纯氮N2≥99.999科研、电子、机械行业、色谱仪载气所以用于制冷剂的话，没什么区别。

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盛装氮气的高压钢瓶系管状无缝结构，上端瓶口处的缩颈部分为瓶颈，瓶颈与瓶体的过渡部分叫瓶肩，瓶颈外侧固定连接有颈圈。下端一般为凹形底。瓶体由锰钢、铬钼钢或其他合金钢制成。常用的是中容积瓶，外径219mm.. 全文
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氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中，通常采用黑色钢瓶盛放氮气。氦气全文

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